ASML即将交付世界最先进光刻机:英特尔成首位客户

fjmyhfvclm2025-02-04  7

2025蛇年新篇

作为晶圆代工行业中最重要的产品,光刻机的优秀与否将决定制程工艺的先进性,而目前在EUV领域,毫无疑问ASML成为了绝对的巨头,几乎垄断了EUV光刻机的生产与研发。广大晶圆代工巨头也等待着ASML推出的新一代光刻机来提升自己的代工实力。目前ASML表示自家目前最先进的光刻机TWINSCAN EXE:5200即将交付给客户,从而为2nm等更加先进的工艺提供前有力的硬件保证。

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ASML目前已经确认将会在不久之后正式交付新一代的EUV光刻机也就是TWINSCAN EXE:5200,这款光刻机是TWINSCAN EXE:5000的强化版,ASML表示全新的TWINSCAN EXE:5200光刻机最高可以实现每小时185片晶圆的制造,为今后2nm等制程提供坚实的硬件基础。

ASML称目前的之前光刻机的孔径透镜精度为0.33,而到了TWINSCAN EXE:5200以及TWINSCAN EXE:5000,孔径透镜精度达到了0.55,相比较上一代产品有着极为明显的提升,不过由于技术的提升,每一台光刻机的售价也是达到了相当惊人的程度,据悉TWINSCAN EXE:5000的单价可以达到3.5亿欧元,相当于26.3亿人民币,而TWINSCAN EXE:5200的报价显然更高。

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