专利摘要显示，本发明涉及一种800G硅光耦合透镜位置和缺陷检测方法，分别在X轴、Y轴方向采用光斑对准目标透镜进行循环扫描，再分别由线阵CCD采集反射光斑，并分别根据光功率分布数据提取光斑数据；分别依据在X轴…